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flag ULVAC发射ENTRON-EXX,这是一个具有先进数据特征的新型半导体沉降系统。

flag 日本ULVAC公司已经启用了ENTRON-EXX,这是一套新的半导体多室沉积系统。 flag 新系统以其前身ENTRON-EX W300为基础,提供了增强的数据情报和可扩展性,并为最大限度地提高工厂空间效率提供了两个平台选项。 flag ULVAC旨在通过先进的真空技术推动半导体工业的创新。

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