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ACM Research将其首个超利特KrF轨道系统运送到中国一家领先的半导体工厂。
ACM Research已经启动了其第一个Ultra Lith KrF轨迹系统,设计用于高通量半导体制造。
2025年9月,这个扩大ACM平面印刷作品的系统被运到中国最顶尖的逻辑壁炉上。
它有12个旋转涂层、12个开发商和54个热板用于高级热控,并实时监测流程以提高生产效率。
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ACM Research ships its first Ultra Lith KrF track system to a leading Chinese semiconductor factory.