Hitachi发射新的DCR Etch系统9060,用于精确的 3D 半导体制造。

Hitachi高科技公司引进了DCR Etch系统9060系列,用于在原子一级对先进的3D半导体装置进行精确的异向蚀刻。 该系统利用等离子蚀刻技术实现低损坏、高精度的结果,并包括一种独特的冷却机制,以提高效率。 它旨在帮助复杂的半导体制造商降低成本和提高生产力。

November 28, 2024
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